传感器之加速度计在惯性导航中的应用

加速度计在惯性导航中的应用

加速度计是惯导系统中的最重要元件之一,用来测量沿其输入轴作用的常值和低频加速度,当前无论在航天航空,还是在其它技术领域都得到了广泛应用。近年来随着型号及其应用领域的发展,对加速度计的精度特性要求也在不断提高。

作为惯导加速度计的发展方向一般说来是小型化、数字化、固体化。我们认为在力平衡型加速度计技术基本成熟的基础上,中高精度领域应优先发展石英振梁加速度计技术,在中低精度领域重点开发单晶硅微加工加速度计技术,在条件成熟时开展单晶硅振梁加速度计技术的研究。

众所周知,仪表体积大必然使导热通道和导电通道加长。导热通道长会导致大的温度梯度,导电通道长会增加对杂散电容和电磁辐射的灵敏度,从而影响加速度计的精度和稳定度。体积大的另一个缺点是检测质量的谐振频率低,对加速度响应慢。减小加速度计结构尺寸的关键不在机械和电气设计方面,而主要受使用材料和加工工艺的限制。

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