XD602大行程压电纳米定位台，应用于精密定位

XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点，行程范围可达200μm/轴，广泛应用于精密定位、微操作等领域。

应用：

1纳米定位

2精密定位

3微操作/微加工

大行程、高可靠性、高稳定性

XD602为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现每轴200μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列闭环控制器配套使用，具有非常高的稳定性。
 

技术参数

型号：XD602运动方向：X/Y/Z行程范围@120V：160µm行程范围@150V：200µm传感器：SGS开环分辨率：8nm闭环线性度：0.2%F.S.闭环重复定位精度：0.1%F.S.空载谐频：270Hz谐振频率@100g：110Hz50%行程空载使用频率：20Hz台体材料：铝工作温度范围：0~50℃承载能力：300g
 

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