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轮廓仪按照工作原理不同,可分为接触式轮廓仪(触针式)和光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)。
SJ5718轮廓仪(触针式轮廓仪)
SuperView W1光学3D表面轮廓仪
接触式轮廓仪和光学3D表面轮廓仪因为功能不一样,所以使用场合也不一样。
接触式轮廓仪,主要是来测工件测长宽高尺寸、角度、直径、半径等参数,还可以进行一些形位公差的评定,精度都是微米级别的。还有一些轮廓仪是把轮廓测量功能和粗糙度测量功能集成在一起,一次性即可测量出轮廓尺寸和粗糙度参数,比如中图仪器SJ5730这一款。
所以接触式轮廓仪主要用于零件轮廓尺寸测量,比如汽配行业、轴承行业、五金工具、机械加工、紧固件行业、轴承行业、模具行业等等。
光学3D表面轮廓仪也叫白光干涉仪,主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳米级别的。
光学3D表面轮廓仪主要在半导体晶圆加工、3C行业的盖板、光学元器件、超精密加工以及各高等院校实验室。
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