压电纳米定位台P60.Z250的特点及应用

P60.Z250为一维Z向运动压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现Z向250μm位移。压电定位台具有非常高的控制精度，分辨率和稳定性可达纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。平台可选真空兼容版本，平台中的部件均适合于真空应用，真空度可达1×10^（-5）mbar。

闭环版本定位精度高

P60.Z250可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制及优异线性运动和稳定性。

产品特点

• 一维Z向运动

• 行程可达250μm

• 承载可达1kg

• 可选真空兼容版本

应用

• 计量/干涉/ 扫描

• 纳米定位

• 光盘驱动测试

• 半导体技术

• 质量保证测试

• 微加工/精密控制

技术参数

型号：P60.Z250

运动自由度：Z

标称行程范围（0~120V）：200μm

行程范围（0~150V）：250μm

传感器类型：SGS

闭/开环分辨率：10/3nm

闭环线性度：0.4%F.S.

重复定位精度：0.1%F.S.

空载谐振频率：260Hz

承载能力：1kg

静电容量：21.6μF

工作温度范围：-20~80℃

材质：钢、铝

重量（不含线）： 0.4kg

真空度：1×10^（-5）mbar

外形尺寸（长×宽×高）：80×60×20mm

出线长：1.5m

责任编辑：tzh