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微机械阵列滤波传声器的动态特性

消耗积分:0 | 格式:其它 | 大小:1003 KB | 2011-02-16

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摘要：对近年来硅微机械加工技术(MEMs)工艺研制的几种微传声器进行了论述，对其优缺点进行分析和研究表明：这些传统的传声器主要起声电转换的作用，对噪声信号的滤波处理是由专用滤波威廉希尔官方网站 完成。或者用数字滤波进行处理。为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器，在转换信号的同时实现滤波。讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响，并由此得出：阻尼的增加会降低传声器的灵敏度，簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线。而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波。

关键词：微机械；传声器；滤波器

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