玻璃表面图形的高度差测量

要求玻璃表面图形的高度差测量（如下图所示）

玻璃表面图形的高度差测量

通过观察样品，发现玻璃表面被激光雕刻的有三块区域，且玻璃的厚度较薄，属于光可穿透物体，由此本次选用的镜头D15A32搭配H4UO单通道控制器，D15A32不仅光斑超小，且线性精度和分辨率都超高，非常适用于要求线性精度高的东西。

玻璃表面图形的高度差测量

玻璃表面图形的高度差测量

玻璃表面图形的高度差测量

（重复精度）

通过上图的可以看出使用本公司光谱共焦位移传感器在测量玻璃的高度差位置1的精度在1.28μm左右，位置2 的精度在1.34μm-1.35μm左右，位置3的精度在0.15微米左右，这些还没算上气流等带来的一丝干扰。

审核编辑 黄昊宇