PA200 BlueRay 概述

半自动或全自动高吞吐量测试

PA200 BlueRay™ 可实现光电（如 LED）、MEMS（比如压力传感器）和 RF（例如 SAW/BAW 滤波器）器件的高吞吐量功能测试。其精度可确保平稳的探针降落，具有安全、可重复的电接触。PA200 BlueRay 专为实现每天 24 小时、每周 7 天的不间断运行而设计，可现场升级晶圆传送机械。

PA200 BlueRay 主要特征ruxia

 

高吞吐量

Die到Die之间的步进时间小于100ms

多Die测量技术可实现20 Dies/s(70,000 Dies/h)的测量速率

能更快地获得测量数据

Z 轴准确度

在所有生产型探针中具有最高的 Z 轴分辨率

独特的 Z 轴剖析功能

即使是高度方面的极端变化（比如，晶圆发生扭曲的场合）也可予以补偿

最大限度减小Pad上划痕

提升良率

 

高效益

极小的占地面积

配有与主流分析仪表、软件和测试机的通讯接口

低拥有成本

投资回报快

双面测试选项

背面仪表，例如，积分球、光纤设置、压力模块

可接触被测器件 (DUT) 和正面和反面

高度准确的光测量

Velox 探针台控制软件

以用户为中心的设计最大程度地减少了培训成本并提高了效率

全面的对齐功能–从简单的晶圆图建立和对齐到先进的自动探针与pad对位

为经验不足的用户简化操作流程：工作流程指南和精简的用户图形界面帮助降低培训成本

VeloxPro选件：符合SEMI E95的测试执行软件，可简化操作和整个晶圆测试周期的安全自动测量。

可升级至全自动化系统（选项）

现场升级晶圆传送装置

实现7X24小时不间断、全自动作业

审核编辑 黄昊宇