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等离子体源离子注入技术及其应用

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:151 KB | 2011-05-22

dplion

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离子注八材料表面陡性技术， 是材料科学发展的一个重要方面。文中概述7等离子体源离子注八技术的特点 基皋原理 应用效果。取覆等离子体源离子注八技术的发展趋势。例如， 除7在金属合金方面取得根好效果外。在半导体器件上也取得了意外的效果。此外，开展复合表面改性层的研究也取得了重要进展。

 

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