详解MEMS微传感器的工作原理
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本文是关于MEMS微传感器的工作原理最全面的内容，分为两部分，共计212页PPT内容。 主要讲解了MEMS微传感器的概念、分类，基本敏感原理介绍，MEMS微传感器实例、MEMS微执行器分类、基本致动方式介绍、微执行器实例等内容，对MEMS微传感器的相关知识介绍得很全面，推荐需要深入了解MEMS微传感器工作原理的伙伴分享、收藏。
审核编辑 黄宇
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