材料科学的目标是研究材料表面结构对于其表面特性的影响。因此,高分辨率分析表面形貌对确定表面粗糙度、反光特性、摩擦学性能及表面质量等相关参数具有重要意义。共焦技术能够测量各种表面反射特性的材料并获得有效的测量数据。
以共聚焦技术为原理的VT6000激光共聚焦显微镜,是用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。高度测量分辨率达到0.5nm。
VT6000激光共聚焦显微镜1.MEMS
微米和亚微米级部件的尺寸测量,各种工艺(显影,刻蚀,金属化,CVD, PVD,CMP等)后表面形貌观察,缺陷分析。
2.精密机械部件,电子器件
微米和亚微米级部件的尺寸测量,各种表面处理工艺,焊接工艺后的表面形 貌观察,缺陷分析,颗粒分析。
3.半导体/ LCD
各种工艺(显影,刻蚀,金属化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌观察, 缺陷分析 非接触型的线宽,台阶深度等测量。
4.摩擦学,腐蚀等表面工程
磨痕的体积测量,粗糙度测量,表面形貌,腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。
型号:VT6100
行程范围:100*100*100mm
视场范围:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度测量重复性(1σ):12nm
高度测量精度:± (0.2+L/100) μm
高度测量分辨率:0.5nm
宽度测量重复性(1σ):40nm
宽度测量精度:± 2%
宽度测量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
仪器重量:50kg
全部0条评论
快来发表一下你的评论吧 !