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TCAD技术及其在半导体工艺中的应用

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:351 KB | 2011-10-31

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阐述了计算机辅助威廉希尔官方网站 ( TCAD) 的应用发展历程, 介绍了相关软件(TSUPPREM4、MEDICI) 的原理及功能。分别对以改善pn 结边缘曲率效应, 提高结击穿电压为目的功率器件结终端结构———场限环、场板进行了模拟。以某型号器件的芯片设计生产为实例, 通过工艺与器件电学性能的仿真结果与最终器件实测结果进行比较, 展示出TCAD 技术的特点, 体现了TCAD 技术对于半导体生产制造的重要作用。
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