煜辉半导体获近亿元A轮融资，聚焦下一代掩模检测机台研发

　　近期，常州煜辉半导体设备有限公司（简称：煜辉半导体）成功获得了深创投与红土一号私募股权投资基金组成的A轮融资，金额达到了近亿元人民币。

　　这家半导体制造商下属的江苏维普光电则专注于半导体光掩模检测设备研发。据记者了解，该公司拥有包括IC掩模检测、FPD掩模检测、晶圆检测、晶圆及掩模量测在内的五大产品线。其中，STORM系列半导体掩模检测设备，已广泛服务于国内MASKSHOP客户，检测精度及效率均优于市场同类产品，累计出货量已接近四十套。

　　自2016年9月创立以来，江苏维普光电已经为解决半导体制造及半导体掩模版的高敏感度AI测试问题提供了解决方案，其产品线涵盖了半导体掩模版检测方案和激光晶圆检测技术等，如Storm2000、Storm3000、IRIS530和Tronado2000、Tronado3000等。

　　此外，记者还从常州国家高新区得到独家消息，符合130纳米制程要求的量产机型STORM 3000已交付华润微、中微掩模、龙图光罩、路维光电等客户手中。据悉，本次融资所得资金将投入到下一代掩模检测机台STORM 5000以及前道晶圆检测设备Tornado 3000的研发与生产环节，这两款新机型将适用于更加先进的半导体制造工艺。