什么是SiC boat?SiC boat有几种不同的制作工艺?

描述

本文简单介绍了碳化硅舟的概念、制作工艺以及不能用干法清洗的原因。  

炉管中的SiC boat为什么不能dry clean?  

什么是SiC boat?  

SiC boat,即碳化硅舟。碳化硅舟是用在炉管中,装载载晶圆进行高温处理的耐高温配件。由于碳化硅材料具有耐高温、抗化学腐蚀和良好的热稳定性等特性,它被广泛用于各种热处理过程,如扩散、氧化、CVD、退火等。  

SiC boat有几种不同的制作工艺?  

1,在石墨晶舟表面CVD一层SiC薄膜。  

该种类型的舟主体是石墨,一体加工成型。但是石墨多孔,容易产生颗粒,必须在石墨晶舟表面涂敷一层SiC薄膜,由于石墨体和SiC薄膜之间的 CTE(热膨胀系数)不匹配,SiC薄膜通常在多次升降温使用后容易剥落,导致颗粒的产生。这种舟最便宜,使用寿命在一年左右。  

2,在重结晶的SiC晶舟上CVD一层SiC薄膜。  

重结晶的SiC晶舟是多孔的,也易产生颗粒,因此需要将重结晶的SiC晶舟的几个单元部件先预先成型、烧结,然后分别加工,之后将各个单元部件在高温下以Si膏粘合,粘合成一晶舟之后再CVD涂覆SiC薄膜。   这种重结晶SiC晶舟制造流程最长,成本高,但是表面的CVD涂层也会损坏,寿命在3年左右。  

3,一体成型的SiC晶舟  

该晶舟整体都是由SiC材料构成。需要将SiC从粉末成形并烧结成一体式晶舟的相应形状。成本极高但是很耐用,不易产生颗粒。但是这种晶舟含有10~15% 的游离硅,容易被F,Cl侵蚀,从而导致微粒。  

为什么不能干法清洗?  

综上,用CVD镀一层SiC薄膜的晶舟,在干法清洗时表面SiC涂层易脱落,造成颗粒;一体成型的SiC晶舟里有少量的游离硅,容易被含F,含Cl气体侵蚀而产生颗粒,造成污染。  



审核编辑:刘清

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