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TFT-LCD超薄玻璃减薄工艺流程及不良简介

消耗积分:0 | 格式:doc | 大小:22KB | 2014-02-09

liang1987

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　　TFT-LCD超薄玻璃减薄工艺流程及不良做一些大体的介绍

　　FT-LCD超薄玻璃减薄工艺流程及不良简介

　　1减薄的作用2减薄工艺简介3常见的减薄不良2减薄的作用1.减少占有的空间2.使Glass达到一定的柔性3减薄工艺简介封胶减薄研磨防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内用酸碱对Glass进获得光亮、平整，破坏封框胶，进行刻蚀，从而达到的表面。

　　入Cell内部，影响减薄的目的。

　　产品性能。

　　4封胶UV胶封胶工艺防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部1.加盖遮光垫2.涂胶3.擦胶4.UV固化一般在这之前涂胶后静置清除多的UVUV固化后检查还会进行检查。

　　1min。

　　胶。

　　破坏TFT结构5封胶UV灯GLS边框胶加盖遮光垫涂胶UV固化涂胶后检查6减薄原理及方式6HFSiO2-H2SiF62H2O液体固体（玻璃）-液体21多片直立理浸原泡原理及方式洒喷瀑4立布直流片单37三种方式优缺点瀑布流单片直立喷洒优点：

　　1.表面最光滑，甚多片直立浸泡优点：

　　至可以不用抛光1.可以满足两面不优点：1.可以同时间处理同蚀刻要求。多片缺点：多片玻璃。

　　1.蚀刻表面易产生缺点：1.装置大型。

　　凹点。2.外围产生沉淀物白色粉沫，容易粘附在Glass上。

　　8减薄流程清洗Textinhere蚀刻Slimming清洗9减薄设备Loader预清洗单Unloader蚀刻单元清洗单元干燥单元单元元单元其余组件：

　　供酸装置HF酸浓度计温度控制器洗气装置10减薄工艺参数1.反应时间与玻璃质量损失的关系图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系11减薄工艺参数2.反应速率与反应温度的关系图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系12减薄工艺参数3.反应速率与HF酸浓度的关系图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之说明：

　　HF2是HF酸溶液中的最主间的关系要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。

　　13减薄清洗单元（后）

　　a.DI水b.常温C.5minDI浸泡a.5-10NaOHb.45℃鼓泡C.10min碱浸泡a.3HClb.或常温酸浸泡C.1mina.DI水b.常温DI浸泡C.5min清洗14研磨Reject外观检查Polishing清洗外观检查Item自动研磨手动研磨Picture适应产品无破损产品所有产品可修复不良不良率高发，严重不良不良率较低的轻微不良CAPAQ-panel抛光，效率高针对单点不良修复，效率低15减薄工艺自身不良1.不可擦拭脏污2.薄化不匀16减薄工艺自身不良玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一玻璃本身致玻璃表面玻璃本身含有杂质。

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