晶圆清洗加热器原理是什么

晶圆清洗加热器的原理主要涉及感应加热（IH）法和短时间过热蒸汽（SHS）工艺。

下面就是详细给大家说明的具体工艺详情：

感应加热法（IH）：这种方法通过电磁感应原理，在不接触的情况下对物体进行加热，从而避免了颗粒污染。在晶圆清洗过程中，纯钛被用作加热对象，利用感应加热法可以有效地产生高温蒸汽。

短时间过热蒸汽（SHS）：SHS工艺能够在极短的时间内生成超过200°C的过热蒸汽，适用于液晶显示器和半导体晶片的清洗。这种工艺不仅环保，而且具有优异的洗涤能力。

自蔓延高温合成（SHS）：这是一种使用加热器加热水箱中的水，在200℃以上的温度下产生自蔓延高温合成的方法。产生的高温合成物随后被喷涂到镁和晶片上以清洁它们。

这些技术的应用确保了晶圆清洗过程的高效性和清洁度，同时减少了污染物的产生，提高了生产效率和产品质量。

 审核编辑 黄宇