复旦大学牵头组建国家集成威廉希尔官方网站 创新中心研发目标3纳米集成威廉希尔官方网站

位于复旦大学张江校区里的国家集成威廉希尔官方网站 创新中心，在今年1月份已获批上海市集成威廉希尔官方网站 制造业创新中心。几天前，由工信部、中科院、中国工程院等单位专家出席的论证会上，一致通过了该中心“升格”为国家制造业创新中心的建设方案。

一流平台：产学研携手攻关

复旦大学微电子学院执行院长张卫教授说，中心依托上海集成威廉希尔官方网站 制造创新中心有限公司，采用“公司+联盟”的产学研一体化方式，由复旦大学牵头，联合行业龙头企业中芯国际、华虹集团等，建立集成威廉希尔官方网站 产业链上下游协同机制，以行业协同创新模式组建。上海集成威廉希尔官方网站 制造创新中心有限公司是由复旦大学、中芯国际和上海华虹集团共同出资组建的实体公司。其中，中芯国际是中国内地规模最大、技术最先进的集成威廉希尔官方网站 晶圆代工企业，也是世界先进集成威廉希尔官方网站 晶圆代工企业之一。华虹集团是国家“909”工程的成果与载体，是以集成威廉希尔官方网站 制造业务为核心的多业务平台共同发展的集成威廉希尔官方网站 产业集团。复旦大学的微电子学科，源于谢希德先生等在上世纪50年代创办的半导体物理专业，在国内外享有盛誉，拥有国内高校唯一一家集成威廉希尔官方网站 设计领域国家重点实验室——“专用集成威廉希尔官方网站 与系统国家重点实验室”。

创新成果：快速低耗存储器

张江校区里的一幢三层小楼、28名专职“勇士”，这就是这个国家级中心目前的家底，近年来硬是凭着一股闯劲，已经取得了重要创新成果。张卫院长说：“我们研发的半浮栅器件，是一种全新原理的微电子基础器件，它巧妙地将隧穿场效应晶体管（TEET）和浮栅晶体管相结合，构建成了一种全新原理的微电子器件，我们把它命名为半浮栅晶体管(Semi-Floating Gate Transistor，简称SFGT)。它的优点是速度快、功耗低。这项成果得到了国际同行的广泛关注，评价这项成果时将它称为‘晶体管中的混合动力赛车登场了’。”美国一家技术咨询公司对这项成果给出的评价是：“半浮栅晶体管能够解决动态随机存储器(DRAM)芯片面临的技术问题，有潜在的技术能力来替代DRAM。”

此外，半浮栅晶体管还可应用于CPU芯片的缓存。现有缓存通常采用6个晶体管构成的SRAM结构，集成度低、占用面积大。如果采用半浮栅晶体管，则面积能缩小为原来的20%。SFGT还可以应用于图像传感器芯片(APS)，提高填充因子，使图像传感器芯片的分辨率和灵敏度得到显著提升。

研发目标：3纳米集成威廉希尔官方网站

现在，张卫教授的心里颇为踏实，由复旦大学牵头组建的国家集成威廉希尔官方网站 创新中心，能够充分发挥高校和科研院所资源共享的优势，为产业界合作搭建共性技术研发平台；可以更好地汇聚高端人才，开展源头创新，掌握核心技术，从而增强集成威廉希尔官方网站 领域的国际合作能力，为我国集成威廉希尔官方网站 产业技术提升提供服务，并为产业发展提供人才支撑。

“我们是一个中立的、公共的共性技术研发平台，跟企业的研发中心不一样。企业研发中心主要是做目标产品技术的研发，我们这个中心是瞄准集成威廉希尔官方网站 的关键共性技术，突出共性技术研发能力、行业服务与成果转化的能力。”张卫说，共性技术研发工作目前主要集中在5纳米及以下集成威廉希尔官方网站 的共性技术，聚焦新器件新工艺研发，目的是解决我国集成威廉希尔官方网站 主流技术方向选择和可靠技术来源问题，支持高端芯片在国内制造企业实现生产。“中心目前正在开展纳米线围栅器件、半浮栅晶体管等新器件和新工艺的研发，到2022年年底，将系统地开展集成技术研发，打通5纳米集成威廉希尔官方网站 关键工艺，并开展3纳米前瞻技术的研发，建成具有国际影响力的集成威廉希尔官方网站 先进技术创新中心。”张卫介绍说，复旦大学在张江校区已规划了建设约2.9万平方米的微纳电子楼，未来将用于这个国家集成威廉希尔官方网站 创新中心，争取三年里打造一支由180名专职科研人员组成的集成威廉希尔官方网站 研发“第一方阵”。