本文档的主要内容详细介绍的是半导体集成威廉希尔官方网站 的三个经典问题资料说明包括了:1.名词解释:隐埋层,寄生晶体管,介质隔离,PN结隔离。2.简单叙述一下PN结隔离的npn晶体管的光刻步骤?3.四层三结的结构的双极性晶体管中隐埋层的作用是什么?
隐埋层: 是隐埋在硅片体内的高掺杂低电阻区
寄生晶体管: 指有寄生电容的晶体管,寄生电容是通常无可避免却又不被需要,仅因为威廉希尔官方网站 元件相互接近而产生的电容。
介质隔离: 双极型集成威廉希尔官方网站 中的介质隔离常采用氧化物隔离方法,即在形成三极管区域的四周构筑一隔离环,该隔离环为二氧化硅绝缘体,因而集成威廉希尔官方网站 中的各个三极管之间,以及各三极管与其他元件之间是完全电隔离的。
PN结隔离:两个晶体管分别在两个隔离区内,他们的集电区是n型外延层,两个晶体管的集电区间隔着两个背靠背的pn结,只要使p型衬底的电位比晶体管的集电区的电位低,两个晶体管就被反向偏置的pn结的直流高阻所隔开,实现所谓的电学隔离的目的。
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