微光显微镜 (EMMI)的应用范围？

微光显微镜EMMI可广泛应用于侦测各种芯片组件缺陷所产生的漏电流，包括闸极氧化层缺陷、静电放电破坏、闩锁效应、漏电、接面漏电 、顺向偏压及在饱和区域操作的晶体管，可藉由EMMI定位，找热点或找亮点)位置，进而得知缺陷原因，宜特实验室可帮助后续做进一步的失效分析。