RF CO2激光电源的分类

1引言
　　自1973年第一台射频（RF）波导激光器问世至今已26年多。最初是将线圈绕在波导上，实现了RF激励波导激光器的发光。它首次显示了低电压激励的优越性。那时，还有许多不完善的地方。存在的主要缺点是：放电不均匀，耦合效率差、线圈电感太大，限制RF频率的提高，只能在几MHz以下工作等。
　　尽管已有26年多的研制、使用历史，但当前它仍处于发展与改进阶段。其总的研制方向是：降低成本、增长寿命、提高输出功率和效率、减小体积和质量，改进可靠性，提高各项性能指标，以适应各种用途的需要。
　　RFCO2激光器工作频率按ISM规定为27～40MHz；其主要分类如下所述：
　　（1）按输出方式分
　　1）连续输出；
　　2）脉冲输出——调制频率高达1MHz；
　　3）Q开关输出——电光调Q与声光调Q。
　　（2）按谐振腔的工作分
　　1）波导腔——孔径D=1～3mm；
　　2）自由空间腔——孔径D=4～6mm。
　　（3）按激励极性分
　　1）单相；
　　2）反相。
　　（4）按腔体结构分
　　1）单腔；
　　2）多腔；
　　（a）折叠腔：V型——2折；Z型——3折；X型——4折。
　　（b）列阵腔：短肩列阵；交错列阵。
　　（c）积木式：并联—2腔；三角组联—3腔。
　　3）大面积放电
　　（a）平板型，（b）同心环型。
　　（5）按均恒电感分布方式分
　　1）准电感谐振技术—用于低电容激光头；
　　2）平行分布电感谐振技术—用于高电容激光
　　头。
　　（6）按谐振腔材料分
　　1）陶瓷—金属混合型；2）全陶瓷型；3）全金属型。
　　（7）按冷却方式分
　　1）空气冷却；2）水冷却。
　　（8）按封装方式分
　　1）封离型；2）流动型。
　　谐振腔的材料一般为：金属—A1。陶瓷—BeO，BN、AIN、Al2O3等。