SAW,FBAR的历史
早在1855年,瑞利(Lord Rayleigh)就从数学的角度发现了弹性表面波(SAW :Surface Acous
tic Wave)的存在。1965年,怀特(White)和沃尔特默(Voltmer)联合发明了叉指式换能器(IDT:Inter Digital Transducer),从而取得了表面波在滤波器应用技术上的关键性突破。首先在TV的IF波段上将LC滤波器更换为SAW滤波器,此外,在雷达信号处理方面,开始使用SAW设备。在发明了IDT之后的短短12年后,威廉姆森(Williamson)于1977年发表了45种SAW设备的开发产品实际应用清单(Proc.1977 IEEE Ultrasonic Symposium pp.460-468)其中,不但阐述了其优越的特性,同时也介绍了已被广泛应用的TV用IF滤波器、CATV滤波器、雷达用脉冲压缩机等10多种设备。
之后,SAW设备的应用范围不断扩大,作为一种通讯工具在无绳电话及pager上得到应用,现在的
手机等通讯系统大多也都采用了该设备。此外,在影像系统的卫星转播调谐器上也采用了该设备,同时,面向数字地面电视的其他移动通讯介质,随着数字播放及卫星数字广播、社会基础设施的不断变迁,在使用范围逐渐扩大的同时,SAW设备也得到了更广泛的应用。GPS用滤波器在汽车导航装置、远程信息处理及手机上也得到应用,同时,随着在无线遥控门锁及轮胎气压监控系统等车载用途等方面、以及
通信功能的各种应用程序方面的应用不断深入,相信不久的将来势必会在更多类型的设备上得到应用。
薄膜体声波谐振器(FBAR:Film Bulk Acoustic Resonator)发表于1980年,而真正开始应用则是在1999年Ruby等人发表了PCS Duplexer之后。