作者:Ed Spence
市场上出现了很多采用微型机电系统(MEMS)加速度计作为核心传感器的高度集成和易于部署的状态监控产品。这些经济产品有助于减少总体部署和拥有成本,并且可在该过程中扩展受益于状态监控项目的通用设施和设备。
与传统机械式传感器相比,固态MEMS加速度计具有多种有吸引力的属性,但遗憾的是,它们在状态监控方面的用途受到限制,局限于对低成本标准智能传感器之类产品可使用较低带宽传感器的应用。一般来说,噪声性能不够低,诊断性应用要求高频率范围具有低噪声,带宽超过10 kHz。当前的低噪声MEMS加速度计,其噪声密度水平介于10 µg/√Hz和100 µg/√Hz之间,但带宽只有几kHz。这并没有妨碍状态监控产品设计师在新产品中使用噪音性能优良的MEMS。作为一项基于固态
电子器件和内置
半导体制造设施技术,MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素,下面是状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因。