作者:ADI公司 Dust Networks产品部产品市场经理 Ross Yu,远程办公设施经理 Enrique Aceves
问题
对
半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多层化学材料,以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数 10 亿个晶体管,构成各种各样复杂的集成
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(IC)。在制造这些 IC 的过程中,每一步都要精确计量不同的化学气体,而气体使用量差异会很大,这是由不同的工艺所决定。在大多数情况下,这些步骤是高度自动化的。有趣的是,尚未自动化的竟然是一个非常简单的步骤,这就是“保持气体充足供应”。
在ADI公司位于美国加利福尼亚州圣何塞附近的硅谷制造厂中,用于晶圆制造的专用气罐超过 175 个。这些气罐受到了密切监视,以确保不中断供气。供气意外中断会导致价值数 10 万美元的晶圆报废、损失收入并使产品交付出现不可接受的延迟。为了避免停机,技术人员每天 3 次手工记录工厂中每个气罐的压力。这种手工流程容易出现人为差错,维护成本也很高。