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GPP主要流程
喷砂清洗后的扩散片→一次光刻→沟道腐蚀→清洗→涂玻璃粉→钝化→(电性初检)→二次光刻→镀镍(镀金)→电性检测(测片)→划片裂片
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主要设备:
光刻机、匀胶机、钝化炉、甩干机、烘箱、划片机、金相显微镜、治冷设备、图示仪
(纯水设备,空压机)
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主要工装夹具:
各工作站操作台、清洗操作柜、腐蚀操作柜、去胶操作台、涂玻璃操作柜、镀镍操作柜
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水电气配套
纯水(>10MΩ)、氧气、氮气、真空(或高压气)
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主要原物料、辅料
扩散片、显影液、定影液、剥离液、二甲苯、结合粉、结合剂、光刻胶、盐酸、硝酸、发烟硝酸、冰醋酸、镍组、(镀金水)、IPA、丙酮、玻璃粉
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