芯片测试与失效分析

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擅长:IC检测材料分析检测失效分析

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TEM在IC中的应用？

1.薄膜厚度测量（＜100nm)
2.Wafer工艺开发中的形貌观察、尺寸测量
3.微区成分分析
4.微小缺陷（defect)分析

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