芯片测试与失效分析
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同样都HBM,芯片级(component level)和系统级(system level)的差别在哪里?

1.测试能量不同,系统级放电速度更快,能量更高

                          芯片级         |         系统级

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上升时间 2-10ns 0.7-1ns
峰值电流/KV 0.66A 3.75A

2.测试设备不同,MK2芯片级,静电枪系统级

3.测试方法不同

芯片级HBM测试需要对IC按照POWER,GND,IO进行分组测试

系统级HBM测试分成两种方式:

1)接触式放电:静电枪与被测体直接接触,并连续放电

2)空气放电:静电枪充电后,逐渐靠近被测体,直到产生放电

4.失效判定

芯片级测试过程中,芯片无法上电,测试结束后量测FT,做出判断

系统级测试过程中,系统上电,并在测试过程中根据系统参数变化,直接做出判断。

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