Wafer Fabrication[晶圆制造]
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有没有人了解晶圆片辐照后的退火过程?

有没有人了解晶圆片辐照后的退火过程?我公司有辐照设备,但苦于不了解退火的过程

回帖(1)

mufish

2014-12-4 11:21:29
我了解,但不知道你说的辐照设备是什么样的?辐照原理是?
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