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闯闯

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MEMS技术及其微型传感器

很有用的！

回帖（30）

zhang3791729

2013-6-5 12:14:19
额，这种好贴竟然没人顶~
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abchys

2013-9-26 11:00:50
很好的资料，顶一下。
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songbtq

2013-9-30 16:15:43
好贴，先下载再回复
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crazyli

2013-10-2 16:58:07
好贴需要顶起来
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许凯

2013-10-6 21:38:58
好帖子顶一下 学习了~
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我是花生

2014-1-3 22:17:41
好东西哦，O(∩_∩)O哈哈~
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冯工

2014-1-5 11:30:05
好好好好好好好！
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小海

2014-1-5 16:52:54
先留着    后面肯定有用
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Joe Li

2015-9-13 17:00:36
thanks for your sharing!!!
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pretttyhot

2016-3-1 16:07:57
1                           
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zhouriddick

2016-4-16 05:35:58

好贴，先下载再回复
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himxz

2016-4-17 23:30:57
好东西i，最近正在研究相关滤波算法
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赵春会

2016-7-1 15:12:22
的身份第三方的所发生的发
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sinap_zhj

2016-7-2 10:01:04
MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。
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sinap_zhj

2016-7-2 10:04:37
在单个芯片上可以集成任何东西，像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等，因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用，将成为影响未来生活的重要技术之一。
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sinap_zhj

2016-7-2 10:14:12
微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。
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sinap_zhj

2016-7-2 10:21:37
微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。
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sinap_zhj

2016-7-2 10:27:01
微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。对 微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究三类。
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sinap_zhj

2016-7-2 10:29:04
微电子机械系统(MEMS)的理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传感器、微执行器等的设计原理和控制研究等
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