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FD-SOI(全耗尽型绝缘层上硅)技术是一种新的工艺技术,有望成为其30纳米以下的技术节点中成本效益最高的制造工艺。如果采用28纳米技术制作一颗晶片,在相同的选件和金属层条件下,FD-SOI需要38个掩模,而某些基板CMOS则需要多达50个掩模。FD-SOI缩减制造工序15%,缩短交货期10%,这两大优点可大幅降低成本。此外,采用FD-SOI工艺制造的芯片在功耗上可以大幅降低,还可以缩小面积节约成本。 与FinFET技术相比,FD-SOI的优势更为明显。FD-SOI向后兼容传统的成熟的基板CMOS工艺。因此,工程师开发下一代产品时可沿用现存开发工具和设计方法,而且将现有300mm晶片制造厂改造成FD-SOI晶片生产线十分容易,因为大多数设备可以重新再用。 |
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