位置敏感探测器测量威廉希尔官方网站 噪声分析

【作者】：江孝国;李洪;杨兴林;文龙;石金水;张开志;王远;
【来源】：《信息与电子工程》2010年01期
【摘要】：位置敏感探测器(PSD)的特点是位置测量分辨力高,测量装置建立简单,测量结果比较直观。对PSD测量威廉希尔官方网站 等效噪声进行测试分析,获得一系列模拟结果,明确了威廉希尔官方网站 噪声是影响位置测量分辨力的重要因素。以一维PSD器件S3932为例,按照建立的模拟模型,得出要获得1μm的位置分辨力,器件的工作光电流应大于7μA,该模拟结果可以作为PSD测量威廉希尔官方网站 设计的一个重要参考。
【关键词】：位置敏感探测器件;;位置分辨力;;威廉希尔官方网站 噪声
【DOI】：CNKI:SUN:XXYD.0.2010-01-024
【正文快照】：位置敏感探测器(PSD)是一种基于横向光电效应的、用于对入射光斑位置的连续变化进行测量的探测器,具有较高的灵敏度和宽的光谱响应范围,位置分辨力高,瞬态响应性能好,结构紧凑,PSD在精密尺寸测量、对接、震动测量、转角测量甚至三维形貌测量、机器人传感等领域都有广泛应用[1-