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真空镀膜挡板如何进行清理维护

使用真空镀膜技术,针对于真空室内的挡板长期由于靶材的沉积,定期需要将表面的靶材处理掉。请问用什么方式?挡板一般是什么材质?

回帖(7)

believelxp

2018-8-23 14:48:41
物理除膜+化学浸泡
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zzy1233214

2018-9-27 21:43:53
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zzy1233214

2018-9-27 21:45:02
我们是专业做真空镀膜设备维护与清洗的
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jf_14092066

2019-11-28 17:07:47

看你清洗什么咯

本帖最后由 jf_14092066 于 2019-12-7 17:42 编辑

有的简单,有的复杂
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jf_14092066

2019-11-28 17:09:26
莱宝,爱发科镀膜机的挡板一般都是不锈钢  铝件这样的。应材的镀膜机parts种类太多,涉及到很多材料。镀膜机挡板有的喷砂可以去掉,比如氧化物一类。有的需要化学试剂浸泡,在进行喷砂清洗一类流程,比如 AL   TIN  TTN  一类。  parts  clean     我们找的是  武汉的羽顺芯半导体,你可以搜一下。
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banna

2020-4-4 11:14:07
看挡板上沉积的材料是什么来决定。比如:铝可用氢氧化钾加水浸泡(先放好水和挡板,再往里加氢氧化钾),盖盖子泡三天即可。然后冲水,再DI水洗净。或HF酸泡,但HF酸要特别小心处理,安全为上。防护服头套手套是必备的。
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纸上苍生而已

2021-10-18 15:05:04
得看镀的是什么材料,一般护板都是不锈钢的,我们一般都是用UHV FOILS包裹衬板脏了就丢
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