中图仪器SuperViewW白光干涉仪三维光学表面测量系统让轮廓测量价格更为实惠。应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW白光干涉仪三维光学表面测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高。除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,保护仪器,降低人为操作风险。
产品功能
1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;
2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;
5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;
6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;
9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;
10)故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;
11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;
12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;
13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;
14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;
15)镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
白光干涉仪的特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,SuperViewW白光干涉仪三维光学表面测量系统的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。
部分技术指标
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×;5×;20×;50×;100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×;0.75×;1× | |
物镜塔台 | 标配:3孔手动 选配:5孔电动 | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 电动 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
Z向扫描范围 | 10 ㎜ | |
主机尺寸(长×宽×高) | 700×606×920㎜ |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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