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DUV
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duv就是深紫外光，主要是指波长小于i-line365nm的紫外光，一般工业上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化学增幅型的光刻胶。
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中芯国际采购协议期限延长 美国打压仍旧存在
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2021-03-05
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