氮化硅薄膜的特性及制备方法

拓荆科技2023年业绩预增，预计净利润6亿至7.2亿元，同比增长62%

盛美上海：Track设备预计年底与***对接 将打破当前市场一家独大局面

拓荆科技第三季度主营收入6.99亿元，同比上升49.22%

沉积氮化硅薄膜的重要制备工艺——PECVD镀膜

技术革新！菲沃泰PECVD技术直击汽车行业痛点

盛美上海进军PECVD市场，支持逻辑和存储芯片制造

国内PECVD设备唯一产业化厂商 拓荆科技申请科创板IPO申请获受理

改造管式PECVD设备时经常会遇到哪些问题

首台国产12英寸PECVD设备诞生