MEMS/传感技术
随着电子技术和信息技术的飞速发展,压力测量和自动控制技术己深入到科研和工程技术的各个领域,作为压力量的控制方式之一的压力开关已不仅仅局限于对某一点压力的开闭式两态控制,而是在开关控制的基础上要同时能够实现分辨压力大小,对控制点连续设定。
压力开关传感器的研制就是将功能单一的机械式压力开关与压力传感器结构小型化、功能集成化,使二者在同一个压力腔内能够同时提供开关信号和连续电信号。该压力开关传感器研制要突破一体化结构、小型传感器设计及机械压力开关等关键技术难点,解决涉及多门学科相互交叉的综合技术。
压力开关传感器采用一体化结构设计,将小型压力传感器与机械式压力开关安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口和信号接插件,能够同时提供阶跃量信号和连续量电信号。该压力开关传感器整机结构紧凑精度、过载倍数和可靠性高,触点动作误差和温度系数小,整体性能均高于单一功能类的产品。
为了实现机械压力开关传感器器一体化结构的要求,二者必须位于同一压力腔体中。如果没有体积尺寸和重量的限制,传感器与压力开关只需平行排列就可以。但在较小结构空间内,我们拟将传感器与压力开关的感压膜片面对面安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口与信号接插件。能够同步感受外部传递的压力,并同时提供阶越信号与连续电信号。该结构外壳为不锈钢材料,整体设计采用固体硬连接,利用氩弧焊、电阻焊和电子束等多种体连接方法实现传感器结构内无可动部件,强化传感器抗压、抗振、抗冲击特性。
责任编辑:wv
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