MEMS/传感技术
温度传感器
温度传感器种类很多,有利用热电效应的热电偶传感器、利用热电阻效应的金属热电阻传感器和半导体热敏电阻传感器、晶体管PN结温度传感器、集成温度传感器以及近几年发展起来的光纤温度传感器等,应用这些传感器,可以实施温度的适时测量。
湿敏传感器
湿敏传感器可以感受大气湿度并转换成适当电信号。根据传感器原理不同,常用湿敏传感器分为烧结型半导体陶瓷湿敏传感器、多孔氧化物湿敏传感器、结型和MOS型湿敏传感器、氯化锂湿敏传感器、羟乙基纤维素碳湿敏传感器及高分子电解质湿敏传感器等。
气敏传感器
气敏传感器可检测气体(多数为空气)中的特定成分,并将其变换成相应的电信号输出,气敏传感器可分为半导体气敏传感器、固体电解质气敏传感器、浓差电池型气敏传感器和组合电位器型气敏传感器等多种类型,其中最常用的是半导体气敏传感器。
pH值传感器
pH值传感器是根据电化学中电位测量法而工作的,可用于在线测量溶液的酸碱度。一般由测量电极和参比电极组成。测量电极一般采用玻璃电极,参比电极有甘汞电极和银-氯化银电极两种。
光电传感器
光电传感器种类亦很多,有利用外光电效应的光电管和光电倍增管,利用光电导效应的半导体光敏电阻,利用光生伏特效应的光敏二极管、光敏三极管及光电池,利用光的全反射的光纤传感器,及在MOS集成威廉希尔官方网站 技术基础上发展起来的CCD传感器(又称电荷耦合器件)等。
压力传感器
可以测量压力的传感器很多,根据电阻应变效应制成的应变式电阻传感器、根据压阻效应制成的压阻式传感器、根据压电效应制成的压电式传感器及电感式、电容式传感器都可以测量介质的压力。
生物传感器
生物传感器在国民经济中的临床诊断、工业控制、食品和药物分析、环境保护、现代农业以及生物技术、生物芯片等研究中应用广泛。生物传感器根据分子识别元件(即敏感元件)的不同可分为五类:酶传感器,微生物传感器,细胞传感器,组织传感器和免疫传感器。
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