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由半导体集成工艺与薄（厚）膜工艺结合而制成的集成威廉希尔官方网站 。混合集成威廉希尔官方网站 是在基片上用成膜方法制作厚膜或薄膜元件及其互连线，并在同一基片上将分立的半导体芯片、单片集成威廉希尔官方网站 或微型元件混合组装，再外加封装而成。它与分立元件威廉希尔官方网站 相比，混合集成威廉希尔官方网站 具有组装密度大、可靠性高、电性能好等特点。相对于单片集成威廉希尔官方网站 ，它设计灵活，工艺方便，便于多品种小批量生产，并且元件参数范围宽，精度高，稳定性好，可以承受较高电压和较大功率。混合集成威廉希尔官方网站 的应用以模拟集成威廉希尔官方网站 、微波集成威廉希尔官方网站 、光电集成威廉希尔官方网站 为主，也用于电压较高、电流较大的专用威廉希尔官方网站 中。在微波领域中的应用尤为突出。

1.特点 　混合集成威廉希尔官方网站 是将一个威廉希尔官方网站 中所有元件的功能部分集中在一个基片上，能基本上消除电子元件中的辅助部分和各元件间的装配空隙和焊点，因而能提高电子设备的装配密度和可靠性。由于这个结构特点，混合集成威廉希尔官方网站 可当作分布参数网络，具有分立元件网路难以达到的电性能。混合集成威廉希尔官方网站 的另一个特点，是改变导体、半导体和介质三种膜的序列、厚度、面积、形状和性质以及它们的引出位置得到具有不同性能的无源网路。

2.种类 　

制造混合集成威廉希尔官方网站 常用的成膜技术有两种：网印烧结和真空制膜。用前一种技术制造的膜称为厚膜，其厚度一般在15微米以上，用后一种技术制造的膜称为薄膜，厚度从几百到几千埃。若混合集成威廉希尔官方网站 的无源网路是厚膜网路，即称为厚膜混合集成威廉希尔官方网站 ；若是薄膜网路，则称为薄膜混合集成威廉希尔官方网站 。为了满足微波威廉希尔官方网站 小型化、集成化的要求，又有微波混合集成威廉希尔官方网站 。这种威廉希尔官方网站 按元件参数的集中和分布情况，又分为集中参数和分布参数微波混合集成威廉希尔官方网站 。集中参数威廉希尔官方网站 在结构上与一般的厚薄膜混合集成威廉希尔官方网站 相同，只是在元件尺寸精度上要求较高。而分布参数威廉希尔官方网站 则不同，它的无源网路不是由外观上可分辨的电子元件构成，而是全部由微带线构成。对微带线的尺寸精度要求较高，所以主要用薄膜技术制造分布参数微波混合集成威廉希尔官方网站 。

3.基本工艺 　

为便于自动化生产和在电子设备中紧密组装，混合集成威廉希尔官方网站 的制造采用标准化的绝缘基片。最常用的是矩形玻璃和陶瓷基片，可将一个或几个功能威廉希尔官方网站 制作在一块基片上。制作过程是先在基片上制造膜式无源元件和互连线，形成无源网络，然后安装上半导体器件或半导体集成威廉希尔官方网站 芯片。膜式无源网络用光刻制版和成膜方法制造。在基片上按照一定的工艺顺序，制造出具有各种不同形状和宽度的导体、半导体和介质膜。把这些膜层相互组合，构成各种电子元件和互连线。在基片上制作好整个威廉希尔官方网站 以后，焊上引出导线,需要时,再在威廉希尔官方网站 上涂覆保护层，最后用外壳密封即成为一个混合集成威廉希尔官方网站 。

4.应用和发展 　混合集成威廉希尔官方网站 的应用以模拟威廉希尔官方网站 、微波威廉希尔官方网站 为主，也用于电压较高、电流较大的专用威廉希尔官方网站 中。例如便携式电台、机载电台、电子计算机和微处理器中的数据转换威廉希尔官方网站 、数-模和模-数转换器等。在微波领域中的应用尤为突出。

5.发展趋势 　

混合集成技术的发展趋势是：①用多层布线和载带焊技术，对单片半导体集成威廉希尔官方网站 进行组装和互连，实现二次集成，制作复杂的多功能、高密度大规模混合集成威廉希尔官方网站 。②无源网路向更密集、更精密、更稳定方面发展,并且将敏感元件集成在它的无源网路中,制造出集成化的传感器。③研制大功率、高电压、耐高温的混合集成威廉希尔官方网站 。④改进成膜技术，使薄膜有源器件的制造工艺实用化。⑤用带互连线的基片组装微型片状无引线元件、器件，以降低电子设备的价格和改善其性能。