0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

激光刻蚀ITO导电薄膜实现99%的良品率,需要什么技术基础

电子设计 来源: 电子设计 作者: 电子设计 2020-12-25 09:40 次阅读

ITO导电薄膜是一种广泛应用于手机、平板、智能穿戴等移动通讯领域的触摸屏的生产的高技术产品。

目前,行业主要利用激光刻蚀ITO导电薄膜。因为采用的设备和配件的不同,各个厂家的良品率也不一样,有的只有70%、80%,有的却可以达到99%。

激光刻蚀ITO导电薄膜想要实现99%的良品率,需要什么技术基础?需要三方面:一、稳定的激光器;二、稳定的电源;三、稳定的激光冷却系统。下面,听特域冷水机给您慢慢说来。

一、稳定的激光器

众所周知,紫外激光加工是一种“冷加工”,它波长短、能量集中、分辨率高,热影响却很小,因此,紫外激光器成为了ITO导电薄膜激光刻蚀行业的是主力军。但是,是不是采用了紫外激光器就能实现99%的良品率了呢?还不够。还需要激光器稳定工作。

光束质量和脉冲宽度是评价激光器性能稳定的两个重要的指标,如光束质量M2小于多少,脉冲宽度小于多少,并在所有频率范围内都严格保证,那么就可以认为这套紫外激光加工系统是能够稳定工作的,99%的良品率已经实现的一大半。

二、稳定的电源

工业紫外激光器需要通电才能工作,电源控制系统的稳定性决定着紫外激光器的性能。有的厂家具备电源研发技术,通过不断调试和改进,研发出能最大限度发挥和稳定激光器性能的电源控制系统模块,到这里,99%的良品率已经接近于实现。

三、稳定的激光冷却系统

ITO导电薄膜激光刻蚀配套的工业水冷机,也是影响紫外激光器的一个重要因素。它的重要任务就是稳定制冷,为紫外激光器稳定散热。温控精度是工业冷水机的一个重要参数,它是工业冷水机核心零部件性能、循环冷却管路的设计、温控模块等的综合体验。如特域S&A公司的紫外激光冷水机,采用进口品牌压缩机等作为核心零部件,循环冷却管路为自主研发设计,不断改进和优化,因此,它的温控精度可达±0.2℃,是一台真正稳定的工业冷水机。

审核编辑 黄昊宇

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 薄膜
    +关注

    关注

    0

    文章

    293

    浏览量

    29213
  • 激光
    +关注

    关注

    19

    文章

    3201

    浏览量

    64469
  • ITO
    ITO
    +关注

    关注

    0

    文章

    55

    浏览量

    19551
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    半导体湿法和干法刻蚀

    什么是刻蚀刻蚀是指通过物理或化学方法对材料进行选择性的去除,从而实现设计的结构图形的一种技术。蚀刻是半导体制造及微纳加工工艺中相当重要的步骤,自1948年发明晶体管到现在,在微电子学
    的头像 发表于 12-20 16:03 194次阅读
    半导体湿法和干法<b class='flag-5'>刻蚀</b>

    芯片制造中的湿法刻蚀和干法刻蚀

    ”工艺则是在图形化掩膜(多为光刻胶)的帮助下,通过各种复杂的物理和化学作用将被刻蚀材料层特定位置的材料去除或改性,实现对被刻蚀材料层的精细加工和雕刻。
    的头像 发表于 12-16 15:03 359次阅读
    芯片制造中的湿法<b class='flag-5'>刻蚀</b>和干法<b class='flag-5'>刻蚀</b>

    SiO2薄膜刻蚀机理

    本文介绍了SiO2薄膜刻蚀机理。 干法刻蚀SiO2的化学方程式怎么写?刻蚀的过程是怎么样的?干法刻氧化硅的化学方程式? 如上图,以F系气体刻蚀
    的头像 发表于 12-02 10:20 292次阅读
    SiO2<b class='flag-5'>薄膜</b>的<b class='flag-5'>刻蚀</b>机理

    不同厚度的ITO薄膜光学和电学性能对光伏电池的影响

    ITO由于其高透过率和导电性,已广泛应用于太阳能电池领域。ITO薄膜的厚度对其光学性能有显著影响,随着膜厚增加,近红外区域的透过率下降,反射率在波长高于1900nm时略有增加。使用「美
    的头像 发表于 09-21 08:09 491次阅读
    不同厚度的<b class='flag-5'>ITO</b><b class='flag-5'>薄膜</b>光学和电学性能对光伏电池的影响

    微流控芯片加工中的PDMS软刻蚀技术和聚合物成型介绍

    微流控芯片大致可以分为三种类型:PDMS芯片、聚合物芯片(COC、PMMA、PC等)和玻璃芯片。三种不同类型的芯片各有不同的加工方法。本文主要介绍PDMS芯片加工的软光刻/软刻蚀技术(soft
    的头像 发表于 08-28 14:42 821次阅读
    微流控芯片加工中的PDMS软<b class='flag-5'>刻蚀</b><b class='flag-5'>技术</b>和聚合物成型介绍

    微流控光刻掩膜制作

    微流控光刻掩膜的制作过程涉及多个步骤,‌包括设计、‌制版、‌曝光、‌显影、‌刻蚀等,‌最终形成具有特定图形结构的掩膜版。‌ 首先,‌设计阶段是制作掩膜版的关键一步。‌设计人员需要使用标准的CAD
    的头像 发表于 08-08 14:56 291次阅读

    VCSEL激光在蚀刻和光刻中的应用与前景

    VCSEL激光在蚀刻和光刻中应用广泛,提高精度和效率。银月光科技提供多波长VCSEL激光器,定制化服务,助力工业生产高效高质量。未来,更多种类VCSEL激光器将推动工业
    的头像 发表于 08-01 09:18 404次阅读

    皮秒激光切割机可以切割材料及主要应用行业

    切割机可以直接切割薄膜材料,如PET薄膜、PI薄膜和其他透明材料的薄膜。此外,它还可以对导电金属的薄膜
    的头像 发表于 05-07 20:14 680次阅读
    皮秒<b class='flag-5'>激光</b>切割机可以切割材料及主要应用行业

    刻蚀机是干什么用的 刻蚀机和光刻机的区别

    刻蚀机的刻蚀过程和传统的雕刻类似,先用光刻技术将图形形状和尺寸制成掩膜,再将掩膜与待加工物料模组装好,将样品置于刻蚀室内,通过化学腐蚀或物理
    的头像 发表于 03-11 15:38 1w次阅读
    <b class='flag-5'>刻蚀</b>机是干什么用的 <b class='flag-5'>刻蚀</b>机和<b class='flag-5'>光刻</b>机的区别

    ITO薄膜制备过程中影响其性能的因素

    随着太阳能电池技术的快速迭代,异质结太阳能电池因其高转换效率、高开路电压、低温度系数、低工艺温度、可双面发电等优点而受到广泛关注。其中ITO薄膜在异质结太阳能电池中发挥着重要作用,其制备过程中,氧
    的头像 发表于 03-05 08:33 1263次阅读
    <b class='flag-5'>ITO</b><b class='flag-5'>薄膜</b>制备过程中影响其性能的因素

    沉积温度和溅射功率对ITO薄膜性能的影响研究

    ITO薄膜在提高异质结太阳能电池效率方面发挥着至关重要的作用,同时优化ITO薄膜的电学性能和光学性能使太阳能电池的效率达到最大。沉积温度和溅射功率也是
    的头像 发表于 03-05 08:33 989次阅读
    沉积温度和溅射功率对<b class='flag-5'>ITO</b><b class='flag-5'>薄膜</b>性能的影响研究

    激光焊接技术在焊接铝合金时需要注意什么

    激光焊接技术是一种先进的焊接技术,具有许多优点。首先,由于激光束的聚焦能量密度高,可以快速熔化金属,从而实现高效焊接。其次,
    的头像 发表于 02-29 13:43 869次阅读
    <b class='flag-5'>激光</b>焊接<b class='flag-5'>技术</b>在焊接铝合金时<b class='flag-5'>需要</b>注意什么

    ITO薄膜光学性能受退火工艺温度的影响

    ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,主要优点是其高透明度和导电性,可以作为透明电极应用在光伏电池中。在TOPCon电池中,添加ITO
    的头像 发表于 01-20 08:32 1124次阅读
    <b class='flag-5'>ITO</b><b class='flag-5'>薄膜</b>光学性能受退火工艺温度的影响

    刻蚀终点探测进行原位测量

    设备和技术实现图形的微缩与先进技术的开发。随着半导体器件尺寸缩减、工艺复杂程度提升,制造工艺中刻蚀工艺波动的影响将变得明显。刻蚀终点探测用
    的头像 发表于 01-19 16:02 594次阅读
    为<b class='flag-5'>刻蚀</b>终点探测进行原位测量

    带您深入了解ITO薄膜的方阻与影响方阻的因素

    在太阳能电池的沉积工艺中,制备高性能的ITO薄膜是其首要任务。电池厂商在制备ITO薄膜时,往往需要考虑自身的方阻与影响
    的头像 发表于 12-28 08:33 2080次阅读
    带您深入了解<b class='flag-5'>ITO</b><b class='flag-5'>薄膜</b>的方阻与影响方阻的因素