功率器件静态参数系统测试项目和指标
参数指标
| 项目 | 参数 | |
| 集电极-发射极 | Z大电压. | 3000V |
| Z大电流 | 1000A | |
| 精度 | 0.10% | |
| 漏电流测试量程 | 1uA~100mA | |
| 栅极-发射极 | Z大电压. | 300V |
| Z大电流 | 1A(直流)/10A(脉冲) | |
| 精度 | 0.10% | |
| Z小电压分辨率 | 30uV | |
| Z小电流分辨率 | 10pA |
可测项目
集电极-发射极电压Vces，集电极-发射极击穿电压V(br)ces
集电极-发射极饱和电压Vce sat
栅极漏电流Iges，栅极-发射极阈值电压Vge(th)
栅极电阻Rg
电容测量
I-V特性曲线扫描，C-V特性曲线扫描等
PMST功率器件静态参数测试系统特色：
单台Z大3000V输出；
单台Z大1000A输出，可并联后Z大4000A；
10us的超快电流上升沿；
同步测量；
国标全指标的自动化测试
审核编辑 黄昊宇
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