罗德与施瓦茨推出片器件特性测试解决方案

罗德与施瓦茨(以下简称“R&S”公司)为在片器件的完整射频性能表征提供测试解决方案，该方案结合了R&S强大的ZNA矢量网络分析仪和FormFactor先进的工程探针台系统。半导体制造商可以在产品的开发、认证和生产阶段执行可靠且可重复的在片器件特性测试。整个在片测量工作由ZNA矢量网络分析仪与FormFactor SUMMIT200探针台系统一起完成。

5G 射频前端设计师需要确保适当的器件输出功率和射频带宽，同时兼顾优化器件效率。设计流程中的一个重要阶段是验证射频设计，尽早获得相关设计反馈并评估DUT在晶圆级的功能和性能。在晶圆环境对 DUT特性进行测试所需的测量系统包括矢量网络分析仪(VNA)、探针台、RF探针、电缆或适配器、专用校准方法以及用于特定DUT或相关的校准片等。

为了满足这些重要的测量要求，R&S推出ZNA高端矢量网络分析仪，以及频率在67 GHz以上的扩频模块。分析仪可表征同轴和波导级的所有射频特性参数。FormFactor通过手动、半自动和全自动探针台系统解决晶圆接触问题，系统包括热控制、高频探针、探针定位器和校准工具等。FormFactor WinCal XE校准软件支持整个测试系统的校准，包括对ZNA的校准。

对整套测试系统进行完全校准后，用户可以使用ZNA的所有测试功能。通用S参数测试可以表征滤波器和有源器件的特性;失真、增益和交调测试可以验证功率放大器的特性。该套联合测试系统还可对混频器工作带宽内的变频相位进行测量。经过完全校准的测试系统允许用户直接从VNA获得所有测试结果，无需进行后处理，因为校准数据已经直接应用于VNA之中。

R&S的扩频模块扩展至亚太赫兹频率，例如D波段，它是目前6G研究的重点频段。扩频模块集成到探针台中，以确保最短的连接并实现理想的动态范围，同时避免因电缆连接到探针尖部而造成的额外损耗。

罗德与施瓦茨是测试与测量、系统与方案、网络与网络安全领域的知名供应商。公司成立已超过85年，总部设在德国慕尼黑，在全球70多个国家设有子公司。作为一家独立的科技集团，罗德与施瓦茨创新性的产品和解决方案为全球工业及政府客户提供了一个更安全与互联的世界。
 

审核编辑：汤梓红