攻克光子芯片制程中光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺 陕西先进光子器件工程创新平台全面启用

陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台3月30日在西安全面启用。该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺，将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务，为光子产业各类创新主体打通从产品研发到市场化批量供货的完整链条。

该平台的启用，标志着陕西向打造具有全球影响力的光子产业生态高地的战略目标又迈出了坚实的一步，将吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业向集群化、规模化、高产值化发展。

实现光子产业链上下游企业聚集

记者从陕西光电子先导院了解到，先进光子器件工程创新平台占地30亩，建有中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研发和中试配套设施，总建筑面积约30000平方米，洁净厂房3000平方米，一期专业设备100余台（套），具备以GaAs（砷化镓）、GaN（氮化镓）为主线，围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台，以技术服务与工程代工相结合的形式，为光子产业孵化项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。

同时，先进光子器件工程创新平台__将有效解决第三代化合物半导体芯片制造的外延生长与制程等关键问题__，为光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。

先进光子器件工程创新平台通过与创新企业持续进行联合研发，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺技术不断攻克，平台软硬件建设已不断完善，将持续助力光子产业链上下游企业聚集。

成功破解光子企业“两难”困境

作为“追光计划”与“秦创原”成果转化及展示平台，陕西光电子先导院积极发挥陕西光子产业链“链主”企业作用，通过稀缺平台资源+专业技术服务，为解决实验室无法工程化创新成果，而成熟芯片代工厂又难以承接小量创新产品产出的两难局面，实现了有效的工程化衔接。

2014年，赛富乐斯半导体科技有限公司研发出半极性氮化镓材料，并耗时三年走到量产阶段。然而，生产所需MOCVD（金属有机化学气相沉积）外延炉设备一台就要耗资上千万，一条光电子芯片产线造价数以亿计，这对于这家几乎没有营收的初创企业来说是简直是天文数字。2016年底，陕西光电子先导院主动提出让赛富乐斯按租用的方式使用设备，企业创始人陈辰来到西安实地参观完生产线后，马上决定将公司落户西安。2017年，赛富乐斯正式上线4英寸半极性氮化镓材料，并从 2018年3月开始规模生产及销售，良率达到95%以上， 成为全球首家能够量产工业级半极性氮化镓材料的企业 。

目前，陕西光电子先导院已培育和聚集了近百家光子产业企业，入驻光电子领域企业30余家，其中一半以上为海归高端创业团队，例如耶鲁大学团队、龚平博士团队、张文伟博士团队、程东博士团队等，成为光子领域一流的创新生态和创新高地，在全球光子产业中与国外保持同步，初步抢占了光子产业“窗口期红利”。

助力陕西抢占“光”先机

21 世纪被认为是“光子时代”。当前，全球 IT 产业正处在“从电子到光子”的世代转换过程中，光子产业有望成为 21世纪最具战略性、基础性、先导性的新兴产业。

陕西在光子产业方面具有明显优势。一方面，陕西拥有中科院西安光机所、西电、西工大等一批光子学科齐全、特色鲜明的大院大所和高校，科研成果丰厚。另一方面，陕西光子产业集群已初具规模，初步形成了光子制造、光子信息、光子传感等产业集群。同时陕西在光子技术产业领域有着深厚的科研基础，高折射率硅光芯片、微纳光波导、光栅耦合器和VCSEL（垂直腔面发射激光器）激光器、半极性GaN（氮化镓）光电芯片衬底材料等方面处于行业领先水平。在世界新一轮科技革命和产业变革同我国转变发展方式的历史性交汇关键时期，为赢得先机，陕西推动实施了“追光计划”，抢抓光子产业高速增长的战略机遇。

2015年10月，陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合发起成立了陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器件创新平台作为陕西省2022年重点建设工程，项目仅用6个月就完成主体封顶，12个月完成了机电工程，14个月完成核心设备搬入，16个月就实现平台的正式启用，展现了 “追光速度”和“高新效率”。

未来，陕西光电子先导院将立足光子制造、光子材料与芯片、光子传感三大重点领域，紧密融合秦创原创新驱动平台，在加快统筹谋划“追光计划”的过程中，积极探索光子领域“新型举国体制”的实践经验，引领光电行业发展，拥抱“光子时代”。

中国科学院西安分院院长赵卫表示： “希望陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台启用后，能够吸引更多光子产业创新要素汇聚陕西，攻关一批引领未来的关键核心技术，培育一批具有先发优势和全球竞争力的光子产业冠军企业，推动光子产业进一步向集群化、规模化发展。”

审核编辑 黄宇