音圈电机模组在主流光刻掩模台系统中的应用

***是芯片智造的核心设备之一，也是当下尤为复杂的精密仪器之一。正因为此，荷兰***智造商阿斯麦通研制的EUV***才会“千金难求”。

很多人都对***有所耳闻，但其实不同***的用途并不一样。像上文提及的EUV***则是用于生产芯片的***，此外还有封装芯片的***以及用于LED制造领域的投影***。

近几年，我国本土企业在***的研制方面正一步一个脚印地稳步前进，拿上海微电子装备股份有限公司来说，近几年，其先后推出了IC前道制造***SSX600系列***、IC后道先进封装SSB500系列***、LED制造SSB300系列***、TFT曝光SSB200系列***。

划重点，上海微电子装备股份有限公司是咱同茂的合作客户，先后多次从我司购入高性能音圈电机模组用于产品中，那音圈电机模组在***中具体作用是什么？音圈电机模组主要用于***掩模台系统，在该系统中音圈电机模组运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机模组系统具有较低的阻尼比，是***很重要的要件。

音圈电机模组

昆山同茂电子有限公司是一家集音圈电机模组研发、生产和销售为一体的高新技术企业，同茂自研自产自销的音圈电机模组均采用欧美技术标准和加工工艺，具备高性能、高质量，欢迎多多关注。

审核编辑 黄宇