5.3.1.2 杂质∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
5.3.1.2 杂质
5.3.1 SiC中的主要深能级缺陷
5.3 SiC中的点缺陷
第５章碳化硅的缺陷及表征技术
《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
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