大家好,我是【广州工控传感★科技】MSP-400-350-B-4-N-X压力传感器事业部,张工。
在微压测量领域中,由于压力数值较小,对敏感元件产生的物理变化也相应的小很多,这就要求了敏感元件需要具有较高的灵敏度。MSP-400-350-B-4-N-X压力传感器由于灵敏度较高,频率对压力的变化更为敏感,因此在低压高精度的测量中,有着比较好的性能表现,相对价格也比较高。当精度要求不是很高的情况下,扩散硅和电容式可以兼顾精度和成本。例如电容式真空传感器,利用被测介质的介电常数的变化,可以精确地测量低真空度。扩散硅压力传感器的灵敏度相对较大,部分可以达到(1~2)mV/V/kPa,也可应用于微压下的表压绝压测量。
在低压和中压的测量应用中,可选择范围较为广泛,高精度可选谐振式,中等精度水平可以选用扩散硅式,陶瓷电容电阻式,金属应变式等传感器。扩散硅式灵敏度高,体积小,生产工艺复杂,相对成本略高;陶瓷式成本低,精度低,适合大批量低成本应用,受限于材料的特性,灵敏度较低,不耐压力瞬变和机械冲击;金属应变式兼顾成本和精度,采用热处理的弹性体,可以适应不同的测量介质要求,敏感元部分根据不同的工艺,有溅射薄膜,玻璃微熔,应变片等,覆盖低灵敏度到高灵敏度的范围,受限于弹性体工艺限制,在低压力下的测量时,精度较差,优点是金属的弹性体可以承受较大的冲击。
中高压的应用中,扩散硅和金属应变式各有着广泛的应用,陶瓷受限于材料的强度,高压耐受强度较差。高压应用中,金属应变式有较大的优势,得益于金属弹性体材料的强度,可以承受几百兆帕的压力,同时能够应对较大冲击的应用场景,例如在石油压裂领域有着非常广泛的应用。
MSP-400-350-B-4-N-X压力传感器按照准确度等级来看,覆盖从高精度的0.01级到低精度的4.0级,通常谐振式压力传感器能覆盖从低压到高压,0.01级到0.05级的测量要求,扩散硅传感器的精度等级范围为0.02~0.5级,陶瓷类的传感器等级为0.2~4.0级,金属应变式0.5~4.0级。
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