新品 | 联讯仪器全新推出低泄漏电流开关矩阵RM1010-LLC

在半导体元器件生产研发或者半导体晶圆封测过程中需要进行电性能参数的表征，这些测量需要将精密源表(Source /Measure Unit），LCR表（LCR Meter），数字万用表(Digital Multi-Meter）等多种精密仪器组成自动化测试系统，测量非常低的电流，皮安或更小，测试系统中任何漏电流的存在都会对测试结果造成很大影响。

联讯仪器低漏电流开关矩阵RM1010-LLC（Low Leakage Current Switch Matrix）采用了特殊的技术和元器件，能够有效地抑制威廉希尔官方网站 中的漏电流，提供更高的分辨率和准确度，可以满足更高级别的测试需求，并且配备了多重保护功能，可防止过载、短路等情况发生，保护测试仪器和被测件。

1

产品简介

联讯仪器RM1010-LLC 4槽型半导体开关矩阵可支持多种开关矩阵卡，用户可通过上位机应用软件便捷切换不同测试通道，迅速搭建测试系统。

RM1010-LLC支持传统的SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，RM1010-LLC还可支持多机并联，便于组建大规模的测试系统，提高测试效率并降低成本。

2

特点及优势

01

多路输入输出

14 路输入48 路输出（低泄漏矩阵配置多达 96 交叉节点）

02

低漏电流

失调电流小于100fA(低漏电流通道)

03

高速信号测量

高带宽10 MHz 带宽（- 3dB）

04

模块化设计，轻松搭配使用

模块化设计支持 x12、x24、x36 和 x48 三轴输出配置

开关矩阵框图

3

应用场景

在联讯仪器半导体参数测试系统WAT6200S中,系统将高精度PXIe数字源表S2012C 与DMM(DigitalMulti-meter）、LCR仪表和低泄漏开关矩阵RM1010-LLC结合在一起，以在测试点之间共享资源。
三轴电缆及低漏电流开关矩阵对整个测试过程中维持低泄漏至关重要。

S2012C 作为系统I-V测量核心源表 / 三同轴探针卡

半导体参数测试系统示意图 /S2012C及RLM1010在WAT6200S中的应用

关于联讯

联讯仪器是国内高端测试仪器和设备提供商。主要专注于光网络测试、光芯片测试、电性能测试和功率芯片测试。可以提供包括高速误码仪、网络测试仪、宽带采样示波器、高精度波长计、光谱仪，通用数字源表等高端测试仪器，以及高速光电混合ATE， 激光器芯片老化机，激光器芯片测试机，硅光晶圆测试机，功率芯片测试机，晶圆老化机等高端测试设备。