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【南加州大学:受折纸启发,一种低滞后、高拉伸性应变传感器!】
受到折纸从二维变为三维的制作过程启发,南加州大学的研究人员设计了一种可变形的非平行板三维电容应变传感器。这种非平行板电容应变传感器的制备过程非常巧妙,研究者首先在预拉伸的硅胶弹性基底上制备二维电极图案,然后通过释放预应变让基底恢复原长,从而将二维电极转换为具有一定折叠角度的三维非平行电极板,从而为这种电容式的应变传感器提供了很大的可拉伸性、超低滞后性、高重复性、快速响应时间以及小传感器面积等优势。此外,独特的三维电极设计还支持压缩应变传感和特定方向的应变响应,这是不同于以往大多数基于可拉伸材料的柔性应变传感器的独特性质。毫米级的小传感面积还允许这种传感器可以简单地粘附在软体装置上实现对它们形变的分布式测量。
图1D展示了折纸结构的电容式应变传感器制作工艺。首先制造一个平面多层结构,称为二维前驱体。二维前驱体包括底部Parylene层(厚度5μm)、光刻图案的金属层(铬/金,厚度25/200nm)和其上方的另一个Parylene层(厚度5μm)。对Parylene层进行图案和蚀刻形成了Parylene/金属/Parylene图案,定义了多面板电极和一对狭窄的(~100 μm)蛇形导线。这些蛇形导线作为电极和外部电子设备之间高度可伸缩的电互连结构。厚(35至40 μm厚),可光定义环氧树脂(SU-8 25)覆盖顶部Parylene层,在四个图案的矩形区域提供硬化。与未覆盖的区域相比,该SU-8层的覆盖范围使弯曲刚度增加了大约130到175倍,从而形成了面板折痕结构。连接两个电极的Parylene/金属/Parylene折痕中的狭缝设计进一步降低了折痕的弯曲刚度。通过暗板掩膜将Ti/SiO2双层(15 nm/50 nm厚)沉积在二维前驱体的背面,形成与单轴预拉伸的弹性体衬底(Ecoflex 00-31)的共价键合位点。释放预应变会施加压缩力,导致二维前驱体的未结合区域沿着狭缝发生屈曲。
图1.折纸结构的电容式应变传感器的设计、传感机制和制作工艺。
这种传感器设计的关键参数包括在三维组装过程中施加的预应变、电极尺寸和蛇形布局。预应变决定了三维电极的折叠角度和结合位点之间的距离。有限元分析给出了二维前驱体组成材料的力学性能,可以准确地预测在组装过程中从二维到三维的几何转换以及由此产生的三维电极的结构。在由有限元分析预测的不同预应变水平的代表性设计中,所得到的三维电极的形状与实验结果一致(如图2A)。电极的尺寸影响三维电极的初始电容和折叠/展开过程中电容的变化。在预应变固定的情况下,电容随电极宽度W和长度L的增加而增加。有限元分析结果表明电极宽度呈线性趋势,但在折痕长度固定的情况下,电极长度超过一定值时斜率会变小(如图2B和2C)。蛇形线提供可伸缩的电互连,采用110μm,线宽,900μm,长180°的弧角设计。蛇形线的痕迹由于其在通道内的平面外屈曲和扭曲,可以容纳大的单轴拉伸而不断裂。将金属层放置在Parylene/金属/Parylene三层平面上,也最小化了弯曲引起的应变(如图2D)。
图2. 传感器的结构设计和形成以及拉伸测试。
图3. 对传感器的应变传感范围和相应的滞后性能进行了表征。
图4. 传感器性能的表征,包括响应和恢复时间、应变速率、应变分辨率和传感器的可重复性。
可拉伸应变传感器可以测量相对较大的变形,研究人员展示了将它们用于软机器人形状和变形的感知测量。分布式应变传感器可以无缝集成到软机器人表面,然后根据测量数据进行三维重建的应变分布测量,为软机器人在任意环境设置下的本体感觉提供了一个解决方案。然而,具有高滞后滞或低拉伸能力的应变传感器可能会限制本体感觉能力。软机器人本体感觉的另一个挑战是对软机器人的多模态变形的分解,如拉伸/压缩、弯曲、扭曲和剪切,这些变形可以同时存在。本文提出的电容传感器中的三维角度电极可以随着键接点方向的拉伸或压缩而展开或折叠,分别导致电容的减少或增加(图3B)。由于三维电极的不对称结构,传感器在不同角度的拉伸作用下,与传感器带的纵向方向表现出方向相关的电容变化。复杂的、不对称的变形模式可以导致与面S1和面S2不同的传感器响应。弯曲臂在外表面产生显著的拉伸应变和内表面的压缩应变都可以被传感器所捕获(如图5C)。
图5. 使用传感器感知软机械臂的变形。(A) 连接在硅胶板上的传感器以不同角度(0°、45°和90°)相对于70%应变的单轴拉伸的相对电容变化。插图显示了在70%应变下的3D电极的自上而下的光学图像。比例尺,250 μm。(B )两组连接在软机械臂的两个表面的传感器的结构。比例尺,1 cm 。(C) 软机械臂在伸长、压缩、弯曲、扭曲和混合变形模式下的分布式传感器响应。比例尺,5 cm。
研究者提出了将三维可折叠的非平行板电极与弹性基底集成到电容应变传感中的设计概念和方法。衬底的可拉伸性和电极的可逆折叠/展开使得传感器具有了较大的应变传感范围和最小的滞后。这些微型传感器非常适合于粘贴在被测物体表面以精确测量目标物体的局部变形。大拉伸性、小滞后性、快速响应速度、定向应变响应和小传感器体积是准确测量大应变、复杂和多模态变形的关键,比如在动物(如章鱼臂和象鼻)、人类(如肺)和软机器人监测中这种传感器就可以发挥重要的作用。可扩展的制造过程和可预测的传感器性能进一步扩大了其实际使用的机会。
传感动态
【启泰传感20亿元新一代图像芯片项目签约入驻湖南城陵矶新港区】
10月26日,启泰传感新一代图像芯片项目签约入驻城陵矶新港区。湖南启泰传感科技有限公司董事长王国秋,城陵矶新港区领导李建华、钱丹青、蔺佳、林路杰,及相关部门负责人参加。
湖南启泰传感科技有限公司成立于2006年,从事泛集成威廉希尔官方网站 (特色集成威廉希尔官方网站 )工艺,专注于MEMS传感器技术和产品,尤其偏重于非半导体基底工艺和技术。目前已建立了我国唯一一条工厂化金属基底压敏芯片生产线,该线于2018年12月成功拉通,现已量产,产品质量位于国际同类产品的第一方阵,设计产能已跃居世界前三甲。
启泰传感的创始人和大股东为王国秋教授。王国秋曾任国防科大副教授,现任湖南师范大学教授、博导,是我国“中国芯”的较早研制者,曾获得军队级科技进步一等奖和二等奖,入选国家万人计划,是2022年湖南省科技创业拔尖人才,主持过4项国家级集成威廉希尔官方网站 项目,获湖南省政府记一等功。
此次签约入驻新港区的项目是由王国秋教授及其团队牵头主导,总投资20亿元,建设图像压缩编码芯片项目,主要设计生产与图像传感器连接的后处理芯片。该芯片通过小波变换技术,解决图像传输和存储中出现的“马赛克”问题,这也是目前全世界唯一一种在兼容国际JPEG标准的基础上,实现图像品质跃升的方式。项目一期落地EOD研发生产大楼,由王教授带领团队开展IC设计,预计实现年产500万片生产能力;项目二期拟购地建设一条主流工艺的12吋晶圆厂,预计实现年产量10亿片。
【“中国首款商用可重构 5G 射频收发芯片”上架淘宝:售价 999999 元,只展示不卖】
10 月 30 日消息,近日,一款名为“破风 8676”的 5G 芯片引发网友关注。这款芯片是“中国首款商用可重构 5G 射频收发芯片”,并以人民币 999999 元的价格上架淘宝商城。网友纷纷表示,这是“双十一”期间最“硬核”的国货。
据了解,“破风 8676”芯片是由中国移动研究院自主研发,产品介绍信息显示,“破风 8676”可重构 5G 射频收发芯片支持 1.7GHZ~6GHz 频段范围,能够适配全球主流 4/5G 频段、WiFi 及国内车联网频段:支持 2 个射频通道,通道带宽 200MHz;集成 DPD (数字预失真) 、CFR (削峰) 、高阶 FIR (有限长单位冲激响应)滤波等功能。
据第一财经报道,中国移动介绍称,该款芯片于今年 8 月底研制成功。研制该芯片主要是为了适配当前市场对 5G 多频段、多模式、多站型的应用需求。负责该芯片研制的中国移动研究院相关团队创新性提出可重构技术架构,以系统集成的方式突破当前 5G 芯片单点性能的瓶颈。
在今年 10 月中旬召开的 2023 中国移动全球合作伙伴大会期间,中国移动就该芯片与中兴、京信、锐捷等设备商正式签署了应用合作协议,推进该产品的商用落地。当前,“破风 8676”芯片目前已在上述多家通信硬件设备厂商的整机设备中集成,未来将在以云基站、皮基站、家庭站等网络设备为代表的下阶段 5G 低成本、高可控度的商用网络建设中发挥重要作用。
淘宝店铺“国资小新”负责上架这款芯片。该店铺由国资委下属机构运营,旨在展示国有企业的创新成果。除了“破风 8676”芯片外,该店铺还上架了其他国货神器,如“太行 110”重型燃气轮机、“直-20”直升机等。这些产品均标价为人民币 999999 元,并提示消费者仅供展示不可购买。
【高通 11 月 1 日发布第四财季财报,分析师预计营收同比仍将下滑】
10 月 27 日消息,在英特尔、微软、亚马逊、谷歌母公司 Alphabet 等公司发布最新一个季度或财季的财报之后,仍将有多家公司在随后的一段时间发布财报,高通就是其中之一。
高通官网的消息显示,他们截至 9 月底的 2023 财年第四财季的财报,将在当地时间 11 月 1 日发布,财报分析师电话会议,将在太平洋时间 11 月 1 日下午 1:45,也就是北京时间 11 月 2 日凌晨 4:45 开始。
对于第四财季,高通在 8 月 2 日发布的第三财季的财报中,曾预计营收 81 亿到 89 亿美元,美国通用会计准则下的每股收益预计在 1.37 到 1.57 美元。
按高通给出的预期,他们第四财季的营收,同比就仍将下滑。
在 2022 财年第四财季,高通在美国通用会计准则下营收 113.96 亿美元,每股收益 2.54 美元;非美国通用会计准则下营收 113.87 亿美元,每股收益 3.13 美元。
此外,高通第四财季的营收若是在预期营收的下限,环比就也将下滑。他们第三财季在美国通用会计准则下的营收为 84.51 亿美元,非美国通用会计准则下是 84.42 亿美元。
【紫光股份:前三季度营收552.15亿元,同比增长2.46%】
10 月 29 日消息,紫光股份公布 2023 年第三季度报告,1-9 月实现营业收入 552.15 亿元,同比增长 2.46%;归母净利润 15.41 亿元,同比减少 6.03%;基本每股收益 0.539 元。
第三季度,紫光营业收入 191.69 亿元,同比减少 1.63%;归母净利润 5.19 亿元,同比减少 23.75%。
1-9 月,紫光控股子公司新华三集团有限实现营业收入 375.70 亿元,同比增长 2.32%;其中,国内运营商业务收入达到 76.35 亿元,同比增长20.94%;国际业务收入达到 16.25 亿元,同比增长 13.72%;国际业务中 H3C 品牌产品及服务自主渠道收入达到 4.05 亿元,同比增长 84.79%。
审核编辑 黄宇
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