革新晶圆测量：立仪光谱共焦位移传感器引领潮流

在半导体生产领域，晶圆厚度的精确测量对保证产品质量和提升生产效率至关重要。传统的测量方法存在成本高、操作复杂以及精度不足的问题。为此，我们提出了一种创新的解决方案，即采用国产光谱共聚焦传感器，以降低成本并提高测量效率。
 

点光谱共焦位移传感器对晶圆量测的技术和功能要求：

1.超高分辨率（纳米级）、亚微米级高精度，提高误检率

2.同轴光测量，不受光强和被测物表面材质影响，无测量盲区

3.软硬件一体化，支持多型号和多检测场景，帮助客户降低生产成本

4.测量精度高（μm级别精度）

5.角度适应性广

6.环境适应性强（如可能存在温度，机台震动，平台移动等环境因素）

7.高灵敏度，高信噪比光学的非接触测量

点共焦对晶圆量测优劣势：

1.分辨率高：理论上波长可以一直被细分，因此通过特殊镜头可以输出相当高的分辨率。

2.温度稳定性好：内部仅有镜头结构设计，镜头本身不发热，温度漂移小，对于微米以及亚微米测量，温漂是关键。

3.自动聚焦：在量程范围内，被测物的位置高度上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面，再反射回接收器。

4.横向分辨率高：从上到下被测物总是在焦点上，测量光斑极为微小，因此能分辨被测物上的微小轮廓变化。

5.模块化小型化：镜头和控制器可以通过光纤连接，传输距离远，镜头可以做得很小，便于并排安装。

6.调频抗干扰：波长是调频信号，对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。

7.全息性：理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息，部分光被遮挡影响小。

8.安全性高：寿命长的LED光源，微小功率的白光，比激光对人眼安全，不受限于激光危害等级。

深圳立仪科技有限公司成立于 2014 年，位于深圳市光明区，是一家以生产销售光谱共焦位移传感器及其配套设备为主的精密光学民营高科技企业。从 2014 年成立至今立仪一直以打造高规格的光谱共焦位移传感器并减少成本普及推广为志向，汇集光学、机械、软件人才昼夜奋战，数年磨一剑，开发出自主知识产权的精密光谱共聚焦位移传感器商业化产品系列，破除封锁弥补空白，并在原有基础上有大幅改进并申请了多项发明专利。我们还提供本土的相关技术支持、产品选型、应用方案咨询、测样验证、配套组件、开发协助、非标定制、校准维修，让客户用的舒心，用的放心。高效研发，自主创新，为客户提供卓越的产品和服务。让科技利益众生，期待与各界公司和人士共同努力一起合作，共创辉煌！

审核编辑 黄宇