0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

氩离子束抛光:EBSD样品制备的高效策略

金鉴实验室 2024-11-08 12:35 次阅读

EBSD技术的重要性

电子背散射衍射(EBSD)技术是材料科学中用于揭示材料微观结构的关键工具。它详细描述了材料在凝固、塑性变形、相变以及断裂等物理过程中晶粒的演变。这些信息对于材料科学家和工程师来说是优化材料性能的宝贵资源。EBSD技术的应用范围广泛,覆盖了金属材料、陶瓷、地质矿物等多个学科领域。金鉴实验室拥有先进的EBSD测试设备和专业团队,能够为客户提供高质量的EBSD分析服务,帮助客户深入理解材料特性,提升材料性能。

wKgaomctlK6AEyqqAAksisnBym4347.png

EBSD样品制备的挑战

EBSD样品的制备质量对于实验结果的准确性和可靠性至关重要。传统的EBSD样品制备方法包括机械抛光、电解抛光和聚焦离子束(FIB)等技术。尽管机械抛光是一种常见的方法,但它可能会对软材料造成损伤,并在样品表面引入形变应力和表面形变层。

对于多相材料,不同相的侵蚀速率差异可能导致表面不平整,加速晶界腐蚀,从而降低EBSD的标定率。此外,机械抛光过程中的水冲洗可能会导致易氧化材料的表面氧化。金鉴实验室在样品制备方面积累了丰富的经验,能够为客户提供专业的样品制备服务,确保样品质量达到最佳状态,从而提高后续测试的准确性。

聚焦离子束(FIB)的局限性

聚焦离子束(FIB)技术虽然能够实现精确的样品切割,但由于镓离子较重,可能会在样品表面形成较厚的非晶层,特别是在易相变的材料中,镓离子的轰击可能会诱导第二相的形成,从而影响实验数据的准确性。FIB的测试区域有限,耗时且成本高,不适合大面积的观察。

氩离子束抛光的优势

氩离子束抛光作为一种新兴的EBSD样品制备技术,通过使用高电流密度的氩离子束对样品进行轰击,能够显著减少应力层和非晶层的产生,从而降低了制样方法对实验数据的干扰。金鉴实验室引进了先进的氩离子束抛光设备,能够提供高质量的样品制备服务,帮助客户在研究中获得更准确的实验数据。由于晶格畸变较小,这种方法能够提高EBSD的标定率,降低标定参数,提升标定效率,节约了宝贵的研究时间。

氩离子束切割仪制备EBSD样品

金鉴实验室在样品的制备方面具有丰富的经验,能够提供专业的服务,以下是相关案例:

案例1:多层结构的半导体材料

步骤1:首先使用9um金刚石砂纸对样品表面进行磨抛,以确保表面的平整度。

步骤2:然后使用氩离子束切割仪对样品表面进行精密切割,电压设定为7kv,切割时间根据样品观察面的大小进行调整。

wKgZoWctlMeAVStJAAgvfUJU19c704.png

wKgaoWctlNCABHr3AAmtKuCaMVY435.png

结果显示,每层结构都能清晰地被观察到,焊球结构的细节也清晰可见,菊池花样表明样品表面质量高。

案例2:铜合金

步骤1:同样使用9um金刚石砂纸对样品表面进行磨抛。

步骤2:使用氩离子束切割仪进行切割,电压7kv,切割时间根据样品观察面的大小进行调整。

wKgZoWctlN6AGcbOAAzo1dY9LnA811.png

wKgaoWctlOSAFxK8AA6R-P07Hnw665.png

结果显示,铜合金的晶粒结构细节清晰可见,包括晶粒取向关系、晶界类型、再结晶晶粒等信息。清晰的菊池花样表明,经过氩离子束研磨抛光后的样品制备质量非常好。

结论

氩离子束抛光技术以其高效、高质量和对样品损伤小的特点,成为了EBSD样品制备的重要选择。随着技术的不断发展,将继续推动氩离子束抛光技术在EBSD样品制备中的应用,助力材料科学的进步。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • fib
    fib
    +关注

    关注

    1

    文章

    46

    浏览量

    11071
  • 测试设备
    +关注

    关注

    0

    文章

    301

    浏览量

    17779
  • 离子束
    +关注

    关注

    0

    文章

    31

    浏览量

    7474
收藏 人收藏

    评论

    相关推荐

    聚焦离子束(FIB)加工硅材料的损伤机理及控制

    ‍‍‍‍ 聚焦离子束(FIB)在材料表征方面有着广泛的应用,包括透射电镜(TEM)样品制备。在这方面,FIB比传统的离子束研磨具有许多优
    的头像 发表于 12-19 10:06 108次阅读
    聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>(FIB)加工硅材料的损伤机理及控制

    聚焦离子束系统的结构、工作原理及聚焦离子束系统

    尺度的测量与制造纳米技术,作为全球科研的热点,关键在于其能够在纳米级别进行精确的测量和制造。纳米测量技术负责收集和处理数据,而纳米加工技术则是实现微观制造目标的核心工具。电子离子束技术是这一
    的头像 发表于 12-17 15:08 112次阅读
    聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>系统的结构、工作原理及聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>双<b class='flag-5'>束</b>系统

    不同材料的 EBSD 样品制备方法

    EBSD技术的重要地位与样品制备基础经济快速发展以来,电子背散射衍射技术(EBSD)便在金属材料研究领域崭露头角,成为不可或缺的关键工具,有力地促进了材料科学研究的持续进展。
    的头像 发表于 12-17 15:06 122次阅读
    不同材料的 <b class='flag-5'>EBSD</b> <b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>方法

    聚焦离子束技术的历史发展

    。FIB技术的起源FIB技术的历史可以追溯到20世纪60年代,当时科学家们开始探索使用离子束样品进行分析和加工的可能性。在随后的几十年里,这项技术经历了从实验室原
    的头像 发表于 12-05 15:32 149次阅读
    聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>技术的历史发展

    EBSD样品制备技术的对比分析

    电子背散射衍射(EBSD)技术因其能够揭示材料的微观结构特征而变得不可或缺。这项技术依赖于对样品表面的精确分析,因此,制备符合要求的EBSD样品
    的头像 发表于 12-05 15:29 146次阅读
    <b class='flag-5'>EBSD</b><b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>技术的对比分析

    离子抛光在电镜样品制备中的优势:超越FIB的大面积处理能力

    离子抛光技术概述离子抛光技术是一种先进的样品
    的头像 发表于 12-04 12:39 149次阅读
    <b class='flag-5'>氩</b><b class='flag-5'>离子</b><b class='flag-5'>抛光</b>在电镜<b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>中的优势:超越FIB的大面积处理能力

    离子束技术在多领域的应用探索

    聚焦离子束技术(FIB)聚焦离子束技术(FocusedIonBeam,FIB)是一种高精度的微纳加工手段,它通过加速并聚焦液态金属离子源产生的离子束,照射在
    的头像 发表于 12-04 12:37 153次阅读
    <b class='flag-5'>离子束</b>技术在多领域的应用探索

    蔡司离子束扫描电子显微镜Crossbeam 550 Samplefab

    蔡司代理三本精密仪器获悉。蔡司推出全新双电镜Crossbeam550Samplefab作为一款专为半导体行业TEM样品制备开发的高端聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM
    的头像 发表于 12-03 15:52 113次阅读
    蔡司<b class='flag-5'>离子束</b>扫描电子显微镜Crossbeam 550 Samplefab

    透射电镜(TEM)样品制备方法

    。   以下是TEM样品制备的主要技术: 1.机械研磨和离子溅射:将样品机械研磨成极薄片,再通过离子溅射进一步变薄至电子穿透可见。适用于硬质
    的头像 发表于 11-26 11:35 388次阅读
    透射电镜(TEM)<b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>方法

    聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)技术原理、样品制备要点及常见问题解答

    纳米级材料分析的革命性技术在现代科学研究和工程技术中,对材料的微观结构和性质的深入理解是至关重要的。聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB-SEM)技术应运而生,它融合了聚焦离子束(FIB)的微区加工能力
    的头像 发表于 11-23 00:51 301次阅读
    聚焦<b class='flag-5'>离子束</b>扫描电镜(FIB-SEM)技术原理、<b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>要点及常见问题解答

    离子抛光技术:揭示材料内部结构的精密样品制备方法

    材料微观结构分析的精加工利器在材料科学研究中,揭示材料的微观结构对于理解其物理和化学性质至关重要。离子束抛光技术,作为一种高效的材料表面处理方法,通过精确控制工艺参数,能够有效去除样品
    的头像 发表于 11-20 23:53 162次阅读
    <b class='flag-5'>氩</b><b class='flag-5'>离子</b><b class='flag-5'>抛光</b>技术:揭示材料内部结构的精密<b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>方法

    离子抛光技术解析及其应用功能概览

    什么是离子抛光仪?离子抛光仪是一种高精度的表面处理设备,它通过
    的头像 发表于 11-15 11:07 252次阅读
    <b class='flag-5'>氩</b><b class='flag-5'>离子</b><b class='flag-5'>抛光</b>技术解析及其应用功能概览

    离子抛光技术:页岩电镜样品制备高效解决方案

    离子抛光技术:页岩样品制备页岩,这种由高岭石、水云母等黏土矿物经脱水胶结形成的沉积岩,以其层状结构而著称。按成分差异,页岩可被划分为炭质、
    的头像 发表于 11-04 12:57 164次阅读
    <b class='flag-5'>氩</b><b class='flag-5'>离子</b><b class='flag-5'>抛光</b>技术:页岩电镜<b class='flag-5'>样品</b><b class='flag-5'>制备</b>的<b class='flag-5'>高效</b>解决方案

    离子束抛光在微电子封装失效分析领域的应用

    离子束抛光的工作原理、样品参数选择依据;然后,利用离子束抛光系统对典型的封装互连结构进行抛光, 结合材料和离子束刻蚀理论进行参数探索;最后,
    的头像 发表于 07-04 17:24 381次阅读
    <b class='flag-5'>离子束抛光</b>在微电子封装失效分析领域的应用

    半导体芯片结构分析

    研磨CP+高分辨SEM离子研磨CP又叫离子抛光截面制样,原理利用离子束的高能量撞击材料表面,从而达到去除表面杂质、平整表面等目的。
    发表于 01-02 17:08