Silicon Sensing Systems扩大MEMS代工产能,积极布局PZT薄膜业务

日本Silicon Sensing Systems公司将扩大其在日本的MEMS代工厂规模，新增的厂房设施，主要为了满足MEMS惯性传感器和溅射PZT（锆钛酸铅）薄膜MEMS器件显著增长需求。新厂房占地面积3000平方米，直接将当前的晶圆产量提升一倍以上，紧跟市场增长预测，在未来五年内将产量增加五倍。为了跟上PZT薄膜MEMS器件市场增长规模并缓解成本压力，Silicon Sensing Systems已经扩大了其8寸晶圆生产线的产能。

此次扩张是公司两年重大投资计划的一部分，投资主要用于升级设备、功能和产能。随着Silicon Sensing Systems迎来其MEMS业务的20周年，该公司在全球范围交付的器件已超过3000万颗。

Silicon Sensing Systems业务开发经理Eric Whitley解释说：“Silicon Sensing Systems因生产高精密的MEMS惯性传感器而闻名，最近我们向无晶圆半导体客户开放了代工厂，这些客户需要为他们的MEMS器件寻找可靠的PZT供应源。在过去的3年里，我们看到了强劲的市场需求，许多客户都在提高产量，并寻求高效、高精密MEMS元件的可靠供应。作为团队的一部分，我们很高兴能够参与该业务的发展和增长。”

Silicon Sensing Systems日本公司总经理Hiroshi Tanaka先生负责监督扩张计划的执行，他补充道：“这是Silicon Sensing Systems不断发展过程中的一个重要里程碑。我们的目标是到2020年底从现有厂房顺利过渡到我们新的可抗震的建筑中。与此同时，我们正在添置许多沉积和蚀刻设备，包括新的ALD（原子层沉积）设备，该设备可用于制备适用于恶劣环境下的PZT薄膜。”

薄膜PZT MEMS

Silicon Sensing Systems于2010年推出首款溅射PZT薄膜MEMS陀螺仪传感器：PinPoint®陀螺仪。从那时候起，PinPoint®陀螺仪累计生产已超过1000万颗，广泛应用于汽车、工业和商业领域。作为一款具有超高可靠性（最近3年0 ppm返修率）、高精确度且价格合理的MEMS传感器，PinPoint®陀螺仪目前仍然是最畅销的产品，在业界拥有良好的声誉。

基于PinPoint®的优势，Silicon Sensing Systems的薄膜材料溅射技术已达到了领先水平。Silicon Sensing Systems可为全球客户不同的MEMS器件提供所需的PZT薄膜，如微镜、喷墨打印头喷嘴和声学器件。在许多的应用案例中，Silicon Sensing Systems是将压电器件从块体材料向薄膜材料转变的重要推手，而薄膜材料在经济、尺寸和功耗方面更具有优势。

关于Silicon Sensing Systems公司

日本Silicon Sensing Systems是一家专业从事惯性传感器和系统开发、生产和销售的科技公司，由Collins Aerospace和Sumitomo Precision Products两家企业合资创办。该公司成立于1999年，为市场提供硅基微机电系统（MEMS）导航和稳定技术。自公司成立以来，已为成千上万的客户提供了近4000万颗MEMS陀螺仪和加速度计，产品广泛应用于全球各地的汽车ESC、遥控直升机、GPS、机器人等姿态操控、安全系统。