硅片厚度测量仪SIT-200
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
产品特点：
l 全光学，非接触硅片厚度测试
l 高动态范围测量粗糙表面
l 湿法刻蚀过程中实时测量
高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制
产品参数：
测量目标 | 硅片 |
测量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm扫描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 红光，Class1M |
测量时间 | 20ms |
重复性 | 0.1μm |
输出监控 | 干扰信号（电学） |
PC接口 | 网口 |
供电 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
上海屹持光电技术有限公司