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电子发烧友网>电子资料下载>电源技术>VLSI与超纯硅材料的关系论述

VLSI与超纯硅材料的关系论述

2017-09-14 | rar | 0.34 MB | 次下载 | 免费

资料介绍

  本文通过VLSI与超纯硅材料关系的论迷,阐明了我国VISI的发展急需解决高质量的

  超纯硅材料。提高大直经硅片的平行度;氧、筱含童稳定、均匀、可拉;提高徽区电阻率均匀性;硅

  表面洁净、具有密封、屏蔽的的防静电包装技术是当今硅材料发展的主攻课题。超纯硅材料的完

  美结晶特性和超精度的加工技术水平取决于基础材料(化学试荆、高纯气体、)的高纯度、小颖粗

  和低杂质含责的控制

  徽电子技术是人类先进科学和技术的集成,是人类知识和技术的结晶。高可靠的Ic又是现代电子整机系统的荃础。Ic质量的好坏,直接影响着整机系统的使用寿命。在高科技含时量的空间领域内,一块Ic不仅受到宇宙线的辐射,而且又可能时受到核能的袭击。因此,研究高可靠、长寿命、细线条的VLSI,当前我国急需解决基础材料方面的的干问题;抗辐射加固器件所用的高纯硅材料更受到人们的关注。VISI所用的各种电子材料必需是高纯度pp,级(-10-‘)、小颗粒、低杂质含

VLSI与超纯硅材料的关系论述

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